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本发明涉及化工合成技术领域,尤其涉及一种二(二乙基氨基)硅烷的制备方法,所述方法包括以下制备步骤:使用保护气体将反应釜内空气置换,向反应釜中加入二乙胺和己烷,在搅拌条件下缓慢添加二氯硅烷进行反应,反应过程中持续通入保护气体使反应体系保持恒定...该专利属于武汉启创半导体材料有限责任公司所有,仅供学习研究参考,未经过武汉启创半导体材料有限责任公司授权不得商用。
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本发明涉及化工合成技术领域,尤其涉及一种二(二乙基氨基)硅烷的制备方法,所述方法包括以下制备步骤:使用保护气体将反应釜内空气置换,向反应釜中加入二乙胺和己烷,在搅拌条件下缓慢添加二氯硅烷进行反应,反应过程中持续通入保护气体使反应体系保持恒定...