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本发明涉及一种连续线磁控溅射设备，包括设备本体和立式托盘，所述立式托盘竖直固定基板，设备本体包括呈竖直细缝结构的腔体、控制立式托盘穿过腔体的传送单元，立式托盘包括框架和行走部，行走部包括位于两侧的多对行走轮以及排布于底部的若干磁板，传送单元...
该专利属于苏州晟成光伏设备有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过苏州晟成光伏设备有限公司授权不得商用。

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