下载线性图像传感器及制作方法和光刻掩膜版的技术资料

文档序号:39975266

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本发明公开了一种线性图像传感器及制作方法和光刻掩膜版,该制作方法包括:提供半导体基底以及第一掩膜版,以第一掩膜版为遮挡对半导体基底进行第一次曝光,第一次曝光的区域对应为第一区域;将半导体基底在第一预设方向上相对第一掩膜版移动第一预设距离;提...
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