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本发明公开了一种晶圆干燥系统及晶圆干燥方法，应用于晶圆干燥技术领域，干燥槽体用于对晶圆进行干燥；缓冲槽体通过第一通道与外部的异丙醇输入端连通，以通过第一通道向缓冲槽体内注入异丙醇；缓冲槽体通过第二通道与干燥槽体连通，以通过第二通道向干燥槽体...
该专利属于上海至纯洁净系统科技股份有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过上海至纯洁净系统科技股份有限公司授权不得商用。

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