温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。

本技术提供一种打磨装置及半导体设备。其中，所述打磨装置用于打磨机台中的基座，且包括研磨单元、清洁单元、连接单元和驱动单元；研磨单元用于研磨基座；清洁单元用于清洁基座，且与连接单元相接；连接单元的相对的两端分别连接研磨单元和驱动单元；驱动单元...
该专利属于绍兴中芯集成电路制造股份有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过绍兴中芯集成电路制造股份有限公司授权不得商用。

详细技术文档下载地址

温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。