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本发明提供了一种基于电弧效应的金刚石内部流道制备方法，用于解决现有的流道加工方法难以加工金刚石内部流道，或者加工出的内部流道无法满足芯片微纳米级尺度要求的技术问题。本发明提供的金刚石内部流道制备方法为：先通过激光束在金刚石表面加工出表面流道...
该专利属于中国科学院西安光学精密机械研究所所有，仅供学习研究参考，未经过中国科学院西安光学精密机械研究所授权不得商用。

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