下载一种基于近场扫描光纤探针的热反射成像系统的技术资料

文档序号:39969601

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本发明公开了一种基于近场扫描光纤探针的热反射成像系统,包括由激光器和光纤耦合器构成的探测光源模块;由光纤探针与音叉构成的传感模块;由三维位移台、音叉反馈式原子力控制系统构成的反馈控制模块;由平衡光电探测系统、锁定放大系统构成的噪声抑制模块;...
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