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文档序号:39968383
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本发明防止清洗工序中的多晶硅的污染。清洗笼(1)是在收容有多晶硅的状态下用于多晶硅的清洗的清洗笼(1),具备多个由树脂构成的构成部件(10),多个构成部件(10)分别通过旋入由树脂构成的螺钉(N)而相互结合。...
该专利属于株式会社德山所有,仅供学习研究参考,未经过株式会社德山授权不得商用。
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