下载一种基于锥光干涉的小角度偏转精度测量的方法及装置的技术资料

文档序号:39964110

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本发明公开了一种基于锥光干涉的小角度偏转精度测量的方法及装置。该方法包括:激光光源发出的激光依次经过待测偏转器和起偏器,得到线偏振光;线偏振光以预设角度射入电光晶体,分解得到o光和e光,并产生相位延迟;o光和e光经过检偏器后发生干涉,生成的...
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