【技术实现步骤摘要】
本专利技术属于光电子及激光，更具体地，涉及一种基于锥光干涉的小角度偏转精度测量的方法及装置。
技术介绍
1、激光高速扫描系统在激光刻线、成像和光刻等
中已得到广泛的应用，目前主要的激光高速扫描方式可以分为两类，一类是基于反射镜的机械扫描仪，主要包括振镜扫描(galvo-scanners)、压电扫描(piezo scanner)；第二类是基于光学的固态偏转器，主要包括声光偏转器(aod)和电光偏转器(eod)。
2、传统的基于反射镜的机械扫描方式由于反射镜的机械运动和回差误差，影响了高精度制造中光束定位的精度和重复性，因此其偏转角速度基本上受限于与转镜和其他运动部件的质量相关的惯性。相比之下，声光偏转器和电光偏转器不含有任何机械运动部件，因此不存在与机械扫描仪相关的磨损、机械噪声和漂移等缺点，可以不受机械惯性影响高精度地偏转激光束，具有扫描速度快、精度高、响应时间短和随机访问扫描等诸多优点，已广泛应用在激光直写系统中。
3、为了有效评估声光偏转器(aod)和电光偏转器(eod)的扫描精度，需要采用精密的小角度...
【技术保护点】
1.一种基于锥光干涉的小角度偏转精度测量的方法，其特征在于，包括：
2.如权利要求1所述的方法，其特征在于，在所述激光光源发出的激光依次经过待测偏转器和起偏器之前，还包括：
3.如权利要求1所述的方法，其特征在于，所述预设角度为入射的线偏振光与电光晶体光轴的夹角，所述预设角度为5°。
4.如权利要求3所述的方法，其特征在于，所述相位延迟为：
5.如权利要求4所述的方法，其特征在于，所述干涉光的光强为：
6.如权利要求5所述的方法，其特征在于，当δ＝2kπ时，干涉条纹为亮条纹,光电探测器上接收到的光斑强度最大；
7.如...
【技术特征摘要】
1.一种基于锥光干涉的小角度偏转精度测量的方法，其特征在于，包括：
2.如权利要求1所述的方法，其特征在于，在所述激光光源发出的激光依次经过待测偏转器和起偏器之前，还包括：
3.如权利要求1所述的方法，其特征在于，所述预设角度为入射的线偏振光与电光晶体光轴的夹角，所述预设角度为5°。
4.如权利要求3所述的方法，其特征在于，所述相位延迟为：
5.如权利要求4所述的方法，其特征在于，所述干涉光的光强为：
...
【专利技术属性】
技术研发人员：朱广志，马翔宇，曾远航，何梓键，孙圣开，
申请(专利权)人：华中科技大学，
类型：发明
国别省市：
还没有人留言评论。发表了对其他浏览者有用的留言会获得科技券。