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本发明提供了一种基于帽型电容阵列的MEMS小型风速风向敏感结构,属于风速风向检测技术领域;解决了环境对风速风向敏感结构存在的影响,造成风速风向敏感结构对风的扰动灵敏度低、误差大的问题;包括风速风向敏感结构本体,所述风速风向敏感结构本体的上端...该专利属于国网山西省电力公司电力科学研究院所有,仅供学习研究参考,未经过国网山西省电力公司电力科学研究院授权不得商用。
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