一种基于帽型电容阵列的MEMS小型风速风向敏感结构制造技术

本发明专利技术提供了一种基于帽型电容阵列的MEMS小型风速风向敏感结构，属于风速风向检测技术领域；解决了环境对风速风向敏感结构存在的影响，造成风速风向敏感结构对风的扰动灵敏度低、误差大的问题；包括风速风向敏感结构本体，所述风速风向敏感结构本体的上端面中心固定安装有支撑杆，以支撑杆为圆心呈圆周阵列排布有360个检测电极，在支撑杆的顶端设置有帽型结构，帽型结构的内壁涂覆有金属膜，帽型结构与检测电极之间可形成360个平行板式电容结构，将夹角相差180°的两个检测电极与帽型结构所构成的两个平行板式电容结构记为一对电容，即可形成180对差动形式输出的电容；本发明专利技术应用于风速风向仪器。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术提供了一种基于帽型电容阵列的mems小型风速风向敏感结构，属于风速风向检测。

技术介绍

1、风无时无刻影响着我们的生活，到了现代社会，随着科学技术的发展，用来测量风速度和方向的风速风向仪器在气象监测方面得到了广泛的应用。而在这种测量风速风向的风速风向仪器中，风速风向敏感结构是该仪器获得风速风向信息的关键部分。

2、目前，由于实地测量时环境对风速风向敏感结构存在一定的影响，且对风的起动速度也有一定的要求。现有的风速风向敏感结构对风的扰动不敏感，需要达到一定的风速后才能起动，容易存在环境误差。

3、为此本专利技术设计了这样一种基于帽型电容阵列的mems小型风速风向敏感结构来解决上述问题。

技术实现思路

1、本专利技术为了解决环境对风速风向敏感结构存在的影响，造成风速风向敏感结构对风的扰动灵敏度低、误差大的问题，提出了一种基于帽型电容阵列的mems小型风速风向敏感结构。

2、为了解决上述技术问题，本专利技术采用的技术方案为：一种基于帽型电容阵列的mems小型风速风向敏感本文档来自技高网...

【技术保护点】

1.一种基于帽型电容阵列的MEMS小型风速风向敏感结构，其特征在于：包括风速风向敏感结构本体，所述风速风向敏感结构本体的上端面中心固定安装有支撑杆，以支撑杆为圆心呈圆周阵列排布有360个检测电极，在支撑杆的顶端设置有帽型结构，帽型结构的内壁涂覆有金属膜，帽型结构与检测电极之间可形成360个平行板式电容结构，将夹角相差180°的两个检测电极与帽型结构所构成的两个平行板式电容结构记为一对电容，即可形成180对差动形式输出的电容。

2.根据权利要求1所述的一种基于帽型电容阵列的MEMS小型风速风向敏感结构，其特征在于：所述风速风向敏感结构本体作为底座，内部为中空的，且风速风向敏感结...

【技术特征摘要】

1.一种基于帽型电容阵列的mems小型风速风向敏感结构，其特征在于：包括风速风向敏感结构本体，所述风速风向敏感结构本体的上端面中心固定安装有支撑杆，以支撑杆为圆心呈圆周阵列排布有360个检测电极，在支撑杆的顶端设置有帽型结构，帽型结构的内壁涂覆有金属膜，帽型结构与检测电极之间可形成360个平行板式电容结构，将夹角相差180°的两个检测电极与帽型结构所构成的两个平行板式电容结构记为一对电容，即可形成180对差动形式输出的电容。

2.根据权利要求1所述的一种基于帽型电容阵列的mems小型风速风向敏感结构，其特征在于：所述风速风向敏感结构本体作为底座，内部为中空的，且风速风向敏感结构本体内部固定有控制电路板，控制电路板上集成有微控制器，微控制器通过ad转换模块分别与360个检测电极相连，通过180对差动式电容中几对电容有变化的平行板式电容结构的变化值的正负得到风向，并...

【专利技术属性】
技术研发人员：芦竹茂，晋涛，王大伟，张娜，俞华，李劲松，孟晓凯，刘永鑫，
申请(专利权)人：国网山西省电力公司电力科学研究院，
类型：发明
国别省市：