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本申请涉及一种匀气件、反应腔结构和镀膜设备，匀气件安装于加工组件上，加工组件上设置有抽气口与加工位，匀气件包括：匀气结构，围设于加工位，抽气口位于匀气结构背离加工位的一侧；其中，匀气结构的周向侧壁上间隔设置有多个匀气孔，每一匀气孔均贯穿匀气...
该专利属于江苏微导纳米科技股份有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过江苏微导纳米科技股份有限公司授权不得商用。

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