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本发明实施例提供了一种微机电系统麦克风、麦克风阵列和电子设备。微机电系统麦克风包括具有声腔的基板，所述基板上设置有通孔；多个阵列式分布的振膜结构，所述振膜结构与所述通孔连接；覆盖所述振膜结构的背板。通过使用多个独立振膜结构在基板上阵列排布，...
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