下载一种掩模版组件和蒸镀装置的技术资料

文档序号:39955412

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本申请公开了一种掩模版组件和蒸镀装置,掩模版组件包括支撑掩膜板和多个金属掩膜板,支撑掩膜板包括中部为中空区的外框架、沿第一方向跨设于中空区且沿第二方向间隔地设置在外框架上的多个第一支撑板以及沿第二方向跨设于中空区且沿第一方向间隔设置在外框架...
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