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本技术涉及一种晶圆检测机，包括机体基座以及布置在其上方的上料机械手、料仓和检测工作站；上料机械手具有六轴自由度，料仓处于上料机械手的动作范围内；检测工作站包括承载待测晶圆的XYT轴高精度运动平台和检测打点装置，XYT轴高精度运动平台具有X、...
该专利属于江西超音速人工智能科技有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过江西超音速人工智能科技有限公司授权不得商用。

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