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本发明提供了一种硅基麦克风，包括基底、与基底相连的阻挡层、与阻挡层连接的振膜，在基底和阻挡层的中心设有贯穿二者的空腔，所述振膜包括与阻挡层相连的边缘部和由边缘部围绕的振动主体，所述振膜的边缘部包括与阻挡层相连的高应力的氮化硅层和与氮化硅层相...该专利属于瑞声声学科技（深圳）有限公司;瑞声微电子科技（常州）有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过瑞声声学科技（深圳）有限公司;瑞声微电子科技（常州）有限公司授权不得商用。