【技术实现步骤摘要】
【技术保护点】
一种硅基麦克风，包括基底、与基底相连的阻挡层、与阻挡层连接的振膜，在基底和阻挡层的中心设有贯穿二者的空腔，所述振膜包括与阻挡层相连的边缘部和由边缘部围绕的振动主体，其特征在于：所述振膜的边缘部包括与阻挡层相连的高应力的氮化硅层和与氮化硅层相连的低应力的多晶硅层，所述振膜的振动主体仅包括低应力的多晶硅层。
【技术特征摘要】
【专利技术属性】
技术研发人员：葛舟，
申请(专利权)人：瑞声声学科技深圳有限公司，瑞声微电子科技常州有限公司，
类型：发明
国别省市：94[中国|深圳]
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