温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。

本发明提供了一种分气机构及一种半导体器件的加工设备。所述分气机构包括：气体总管，其第一端连接气源，以获取传输气体的总气流；多根气体分管，其中，所述多根气体分管的第一端分别连接所述气体总管的第二端，以根据本管及其他气体分管的实际气体流阻，从所...
该专利属于拓荆科技(上海)有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过拓荆科技(上海)有限公司授权不得商用。

详细技术文档下载地址

温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。