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视觉检测装置及其视觉检测方法制造方法及图纸
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文档序号:3994639
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公开了一种用于半导体器件的视觉检测装置,特别是一种能够通过捕获半导体器件的外部图像,然后通过分析所捕获的外部图像来检测半导体器件的状态的、用于半导体器件的视觉检测装置,该用于半导体器件的视觉检测装置包括二维视觉检测单元和三维视觉检测单元,其...
该专利属于宰体有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过宰体有限公司授权不得商用。
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