下载视觉检测装置及其视觉检测方法的技术资料

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公开了一种用于半导体器件的视觉检测装置,特别是一种能够通过捕获半导体器件的外部图像,然后通过分析所捕获的外部图像来检测半导体器件的状态的、用于半导体器件的视觉检测装置,该用于半导体器件的视觉检测装置包括二维视觉检测单元和三维视觉检测单元,其...
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