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接合装置和接合方法制造方法及图纸
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下载接合装置和接合方法的技术资料
文档序号:39945492
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本公开提供一种接合装置和接合方法,能够提高基板彼此间的接合精度。本公开的一个方式的接合装置具备第一保持部、第二保持部、水平移动部、升降部、倾斜测定部以及控制部。第一保持部在下表面吸附保持第一基板。第二保持部设置于第一保持部的下方,在第二保持...
该专利属于东京毅力科创株式会社所有,仅供学习研究参考,未经过东京毅力科创株式会社授权不得商用。
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