下载夹具总成的技术资料

文档序号:39945196

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一种夹具总成至少包含一个夹具,该夹具用以夹持工件,以进行化学镀、蚀刻、电镀或清洗等制程,该夹具包含基座、夹持座及限位件,该基座用以被设置于载体,该基座具有导孔及第一限位孔,该第一限位孔连通该导孔,该夹持座具有导柱及第二限位孔,该第二限位孔设...
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