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本发明属于电容器技术领域,具体涉及一种薄膜平板电容器及其制备方法和应用。本发明提供的薄膜平板电容器,包括依次层叠的底电极层、衬底层、下电极层、介质层、上电极层、缓冲层和顶电极层;衬底层和缓冲层均含有若干通孔,衬底层和缓冲层中的任一通孔的直径...该专利属于北京元六鸿远电子科技股份有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过北京元六鸿远电子科技股份有限公司授权不得商用。
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本发明属于电容器技术领域,具体涉及一种薄膜平板电容器及其制备方法和应用。本发明提供的薄膜平板电容器,包括依次层叠的底电极层、衬底层、下电极层、介质层、上电极层、缓冲层和顶电极层;衬底层和缓冲层均含有若干通孔,衬底层和缓冲层中的任一通孔的直径...