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本技术涉及机械加工技术领域，特别是涉及半导体检测设备零件高精度抛光装置，其提高装置抛光精度，增加装置抛光区间；包括安装基座、定位滑轨、收纳箱、支撑轴、定位卡盘、从动锥齿轮、驱动机构和工作机构，两组定位滑轨配合安装在安装基座上，收纳箱通过定位...
该专利属于标景精密科技（苏州）有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过标景精密科技（苏州）有限公司授权不得商用。

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