下载进气结构及热炉的技术资料

文档序号:39941703

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本技术属于光伏与半导体制造技术领域,公开了一种进气结构及热炉,该进气结构包括至少两组进气管,进气管为直通管,进气管的一端伸入炉管中,进气管设置有至少一组出气孔组,每组出气孔组由若干沿进气管轴向分布的出气孔构成,气流通过出气孔散布。该进气结构...
该专利属于拉普拉斯新能源科技股份有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过拉普拉斯新能源科技股份有限公司授权不得商用。

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