下载一种中高频加热式硅氧负极预锂化及CVD一体化装置的技术资料

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本技术提供了一种中高频加热式硅氧负极预锂化及CVD一体化装置,所述一体化装置包括炉管、进料区、收集区、加热单元、气源单元、升降单元和电控单元。炉管能够正反转动,且其内部置有搅拌片以控制物料走向;电控单元位于炉管下方,被配置为一体化装置的总控...
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