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本申请提出了一种晶圆化学液涂布监测装置、FDC系统及晶圆涂布系统。该装置包括流量检测件和反馈组件，流量检测件设置于第一传输管路的传输方向上，用于检测第一传输管路内的晶圆化学液的流量参数；反馈组件，获取流量检测件的流量参数并作出对应的反馈结果...
该专利属于粤芯半导体技术股份有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过粤芯半导体技术股份有限公司授权不得商用。

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