下载一种应用于太阳能电池的多层ITO窗口电极制备方法的技术资料

文档序号:39937676

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本发明提供一种应用于太阳能电池的多层ITO窗口电极制备方法,属于电极制备领域。采用磁控溅射真空镀膜设备作为ITO多层膜制备设备,采用铟锡比(In<subgt;2</subgt;O<subgt;3</subgt;:Sn...
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