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本发明公开了一种用于碳化硅粉料合成的原材料混合装置,涉及碳化硅粉生产设备技术领域,包括反应框,反应框内腔中设有分散装置和去除装置;分散装置包括圆形板、弧形板、环形板、导流板、挡板、三角形板和接触杆,弧形板和圆形板分别滑动安装在转动轴上,环形...该专利属于山东粤海金半导体科技有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过山东粤海金半导体科技有限公司授权不得商用。
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本发明公开了一种用于碳化硅粉料合成的原材料混合装置,涉及碳化硅粉生产设备技术领域,包括反应框,反应框内腔中设有分散装置和去除装置;分散装置包括圆形板、弧形板、环形板、导流板、挡板、三角形板和接触杆,弧形板和圆形板分别滑动安装在转动轴上,环形...