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本发明公开了一种应用马兰戈尼效应的晶圆加工管理系统，数据处理模块将均匀性指数、活性成分浓度偏差、对流速度浮动指数以及环境颗粒物浓度指数进行预处理，质量分析模块在晶圆加工完成后，综合分析均匀性指数、活性成分浓度偏差、对流速度浮动指数以及环境颗...
该专利属于南昌大学所有，仅供学习研究参考，未经过南昌大学授权不得商用。

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