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本发明属于化学机械抛光技术领域，公开了一种抛光垫修整装置，抛光垫修整装置包括上抛头、下抛盘、修整盘、冲刷组件和吹气件，上抛头用于固定待抛光工件，上抛头能绕自身轴向转动；下抛盘设置于上抛头的下方，下抛盘上设置有抛光垫，下抛盘能绕自身轴向转动以...
该专利属于苏州博宏源机械制造有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过苏州博宏源机械制造有限公司授权不得商用。

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