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本发明提供了一种半导体制造用超纯气体输送系统集成方法，具体集成操作步骤如下：S1：超纯气体输送系统一体化设计；S2：气体输送系统的模块化处理；S3：气体输送系统的统一化控制操作处理；S4：输送系统的自动化检测及故障诊断处理；S5：气体输送系...
该专利属于江苏超微半导体科技有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过江苏超微半导体科技有限公司授权不得商用。

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