一种半导体制造用超纯气体输送系统集成方法技术方案

本发明专利技术提供了一种半导体制造用超纯气体输送系统集成方法，具体集成操作步骤如下：S1：超纯气体输送系统一体化设计；S2：气体输送系统的模块化处理；S3：气体输送系统的统一化控制操作处理；S4：输送系统的自动化检测及故障诊断处理；S5：气体输送系统的数据集成与分析操作；S6：标准化气体输送系统各设备的接口及通信协议；S7：气体输送系统的故障自动化恢复以及远程监控处理，本发明专利技术通过上述的七个步骤分别对超纯气体输送系统进行一体化设计、组件的模块化处理、统一控制、自动检测诊断、数据集成分析、标准化接口和故障监控恢复，从而大大提高超纯气体输送系统的集成化程度，实现更高的系统性能、稳定性和生产效率。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及半导体制造，具体为一种半导体制造用超纯气体输送系统集成方法。

技术介绍

1、半导体指常温下导电性能介于导体与绝缘体之间的材料，半导体在集成电路、消费电子、通信系统、光伏发电、照明、大功率电源转换等领域都有应用，如二极管就是采用半导体制作的器件，无论从科技或是经济发展的角度来看，半导体的重要性都是非常巨大的。大部分的电子产品，如计算机、移动电话或是数字录音机当中的核心单元都和半导体有着极为密切的关联，常见的半导体材料有硅、锗、砷化镓等，硅是各种半导体材料应用中最具有影响力的一种，半导体在制造过程中需要使用到多种气体辅助制造，例如：氮气、氧气、氢气、氩气和氦气等，并且对该类气体的纯度要求较高，因此在对气体进行输送的过程中通常需要配备有专门的超纯气体输送系统，通过超纯气体输送系统保持使用气体的纯度。

2、然而，现有的半导体制造用超纯气体输送系统在使用的过程中存在以下的问题：由于半导体制造用超纯气体输送系统通常包含气源、气体净化器、气体输送管路以及各种监测设备等多种设备，并且各部分设置分散，集成化程度不高，导致半导体制造用超纯气体输送系统本文档来自技高网...

【技术保护点】

1.一种半导体制造用超纯气体输送系统集成方法，其特征在于：具体集成操作步骤如下：

2.根据权利要求1所述的一种半导体制造用超纯气体输送系统集成方法，其特征在于：S1：超纯气体输送系统一体化设计，在超纯气体输送系统设计阶段，将各个组件和设备进行一体化设计，以减少组件数量和连接点，简化系统结构，通过将功能相似的组件集成在一起，可以减少空间占用和组件之间的连接，提高系统的紧凑性和集成度。

3.根据权利要求1所述的一种半导体制造用超纯气体输送系统集成方法，其特征在于：S2：气体输送系统的模块化处理，采用模块化的组件设计，使得各个组件可以独立安装和更换，模块化设计可以降低系...

【技术特征摘要】

1.一种半导体制造用超纯气体输送系统集成方法，其特征在于：具体集成操作步骤如下：

2.根据权利要求1所述的一种半导体制造用超纯气体输送系统集成方法，其特征在于：s1：超纯气体输送系统一体化设计，在超纯气体输送系统设计阶段，将各个组件和设备进行一体化设计，以减少组件数量和连接点，简化系统结构，通过将功能相似的组件集成在一起，可以减少空间占用和组件之间的连接，提高系统的紧凑性和集成度。

3.根据权利要求1所述的一种半导体制造用超纯气体输送系统集成方法，其特征在于：s2：气体输送系统的模块化处理，采用模块化的组件设计，使得各个组件可以独立安装和更换，模块化设计可以降低系统维护和升级的难度，提高系统的可靠性和可维护性，此外，模块化的设计还可以快速替换故障组件，减少停机时间。

4.根据权利要求1所述的一种半导体制造用超纯气体输送系统集成方法，其特征在于：s3：气体输送系统的统一化控制操作处理，引入统一的控制系统，实现对超纯气体输送系统的全面控制和监测，通过集成控制系统，可以实现对气体供应、净化、压力调节和流量控制等关键参数的集中管理。

5.根据权利要求1所述的一种半导体制造用超纯气体输送系统集成方法，其特征在于：s4：输送系统的自动化检测及故障诊断...

【专利技术属性】
技术研发人员：周骏，
申请(专利权)人：江苏超微半导体科技有限公司，
类型：发明
国别省市：