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本申请公开了一种掺杂机构及其掺杂方法,涉及单晶硅生产制造技术领域。所述掺杂机构包括连接组件和盛装组件,所述连接组件与外部提升机构连接;所述盛装组件设置在所述连接组件远离所述外部提升机构的一端,所述盛装组件包括盛装本体和底板,所述盛装本体具有...该专利属于甘肃瓜州宝丰硅材料开发有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过甘肃瓜州宝丰硅材料开发有限公司授权不得商用。
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