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本发明涉及声表面波滤波器制造技术领域，具体提供了一种具有温度补偿功能的声表面波滤波器的制造方法，所述制造方法包括如下步骤：S1、基底选材及预处理；S2、沉积牺牲层；S3、刻蚀牺牲层；S4、沉积IDT；S5、释放牺牲层；S6、沉积第一介质层；...
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