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硅片入篮传送机构及硅片入篮系统技术方案
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文档序号:39930083
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本公开涉及一种硅片入篮传送机构及硅片入篮系统,传送机构包括:传送带,用于承载并传送硅片;带轮,沿输送方向间隔设置,用于缠绕传送带并驱动传送带沿输送方向运动;以及支撑架,形成有用于容纳传送带的带槽,支撑架用于支撑传送带,其中,支撑架配置为在输...
该专利属于隆基绿能科技股份有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过隆基绿能科技股份有限公司授权不得商用。
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