下载硅片入篮传送机构及硅片入篮系统的技术资料

文档序号:39930083

温馨提示:您尚未登录,请点 登陆 后下载,如果您还没有账户请点 注册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。

本公开涉及一种硅片入篮传送机构及硅片入篮系统,传送机构包括:传送带,用于承载并传送硅片;带轮,沿输送方向间隔设置,用于缠绕传送带并驱动传送带沿输送方向运动;以及支撑架,形成有用于容纳传送带的带槽,支撑架用于支撑传送带,其中,支撑架配置为在输...
该专利属于隆基绿能科技股份有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过隆基绿能科技股份有限公司授权不得商用。

详细技术文档下载地址

温馨提示:您尚未登录,请点 登陆 后下载,如果您还没有账户请点 注册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。