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本发明涉及一种制备电子级二氯二氢硅的方法，包括以下步骤：S1三氯氢硅原材料在催化剂的作用下进行歧化反应，生成含有二氯二氢硅的反应产物，进行收集，冷却为液体；S2含有二氯二氢硅的反应产物的液体进行精馏初分脱出部分重组分，得到二氯二氢硅和剩余重...
该专利属于中船（邯郸）派瑞特种气体股份有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过中船（邯郸）派瑞特种气体股份有限公司授权不得商用。

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