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本实用新型涉及真空离子镀膜设备速冷技术领域，且公开了一种真空离子镀膜设备速冷装置，包括放置架与放置板，所述放置架的顶部设置有离子镀膜设备，所述放置板的顶部设置有冷却机构，所述放置板的顶部设置有集气机构，通过设置的氮气补充口，将氮气加入氮气储...
该专利属于大连创硕纳米表面科技有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过大连创硕纳米表面科技有限公司授权不得商用。

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