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本发明公开了一种太阳能电池用硅材料表面规则化的方法，该方法采用光刻、掩膜技术以及碱湿法腐蚀技术相结合，在对硅表面进行碱湿法腐蚀前，在硅表面沉积一层掩膜层，并使用掩膜版对硅表面的掩膜层图形化，使硅表面的腐蚀具有选择，可控性。本发明在对硅表面进...
该专利属于电子科技大学所有，仅供学习研究参考，未经过电子科技大学授权不得商用。

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