【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及太阳能电池
，具体涉及一种太阳能电池用硅材料表面规则化 的方法。
技术介绍
太阳能电池是把光能转变为电能的光电半导体器件，随着太阳能电池应用于“先 锋一号”取得成功后，越来越多的卫星采用太阳能电池作为主电源，与此同时，太阳能电池 在地面上的应用也越来越广，如照明，无线电中继，电视转播以及建筑物的供电等等。按制 作材料的不同，太阳能电池可以分为硅太阳能电池以及化合物太阳能电池，其中又以硅太 阳能电池应用的最为广泛。为了减少反射光在硅电池表面上的反射损失，利用腐蚀的原理， 使硅太阳能电池光照表面“绒面化”，可以增大受光表面积，减少太阳光的反射率，十分显著 地提高电池将太阳能转化为电能的效率。但是该方法对电池光照表面的处理是自发形成， 不受人为控制的，形成的“绒面”不均勻且极不规则，并且由于该方法的不可控，致使其重复 性较差，不宜于在大规模生产中应用。
技术实现思路
本专利技术所要解决的问题是如何提供一种太阳能电池用硅材料表面规则化的方 法，该方法能克服现有技术中所存在的缺陷，增大硅表面的吸光面积的同时，保证硅表面的 均勻与规则性，具有操作可控、简单易...
【技术保护点】
一种太阳能电池用硅材料表面规则化的方法，其特征在于，包括以下步骤：步骤１、清洗基片后，吹干；步骤２、在基片表面沉积一层厚度为５０ｎｍ－５００ｎｍ的特定薄膜，该特定薄膜为氧化硅薄膜，氮化硅薄膜或镍镉薄膜；步骤３、在特定薄膜表面涂上一层光刻胶，并采用特定掩膜图形对光刻胶图形化，所述特定掩膜图形设置为若干个规则排列的实心圆孔阵列，圆孔直径为０．１μｍ－１０μｍ，相邻圆心距为０．１μｍ－１０μｍ；步骤４、刻蚀基片表面的特定薄膜，使之图形化，随后去除特定薄膜上的光刻胶；步骤５、将２ｇ－１２ｇ的氢氧化钾或氢氧化钠，６ｍｌ－１００ｍｌ的去离子水，以及６ｍｌ－２５ｍｌ的异丙醇混合在一起，配...
【技术特征摘要】
【专利技术属性】
技术研发人员：吴志明，蒋亚东，姜晶，赵国栋，张安元，
申请(专利权)人：电子科技大学，
类型：发明
国别省市：90[中国|成都]
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