温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。

本实用新型公开了一种磁控溅射设备；包括溅射组件和偏压组件；溅射组件设置有两个，两个溅射组件相对设置，两个溅射组件的一侧设置偏压组件；溅射组件连接负极电源，偏压组件连接正极电源，偏压组件用于将溅射组件产生的溅射离子排斥到基材上
...
该专利属于东莞市科盛机电设备有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过东莞市科盛机电设备有限公司授权不得商用。

详细技术文档下载地址

温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。