下载一种二极管芯片的清洗工艺的技术资料

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一种二极管芯片的清洗工艺。涉及清洗工艺中所用清洗液配方的改进。能进一步减少芯片侧表面金属离子,从而避免芯片在工作中会出现“爬电”现象。依次包括混酸洗、双磷洗和氨洗,氨洗时的清洗液包括氨水、水和双氧水,它们的重量比是氨水1份∶水2-3.5份∶...
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