下载减小由物理气相沉积生成的镀膜中的压力的技术资料

文档序号:3990362

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使用电弧沉积方法沉积镀层,该方法在所述基板上使用一个大的一1,500V或更低的负偏压,其在沉积过程中可变,导致所述镀层中的压力减小。...
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