下载微型麦克风的技术资料

文档序号:3990152

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本发明提供了一种微型麦克风,其中,该微型麦克风包括构成MOS管的半导体基底、设置在半导体基底的中央处且设有容纳空气的绝缘槽及位于绝缘槽上并受空气的驱动而振动的金属板。本产品结构简单、易于集成,能广泛应用于各类电子产品。...
该专利属于瑞声声学科技(深圳)有限公司;瑞声微电子科技(常州)有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过瑞声声学科技(深圳)有限公司;瑞声微电子科技(常州)有限公司授权不得商用。

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