微型麦克风制造技术

技术编号:3990152 阅读:213 留言:0更新日期:2012-04-11 18:40
本发明专利技术提供了一种微型麦克风,其中,该微型麦克风包括构成MOS管的半导体基底、设置在半导体基底的中央处且设有容纳空气的绝缘槽及位于绝缘槽上并受空气的驱动而振动的金属板。本产品结构简单、易于集成,能广泛应用于各类电子产品。

【技术实现步骤摘要】

【技术保护点】
一种微型麦克风,其特征在于:该微型麦克风包括构成MOS管的半导体基底、设置在半导体基底的中央处且设有容纳空气的绝缘槽及位于绝缘槽上并受空气的驱动而振动的金属板。

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员:李海峰
申请(专利权)人:瑞声声学科技深圳有限公司瑞声微电子科技常州有限公司
类型:发明
国别省市:94[中国|深圳]

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