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闪存器件的制作方法技术
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下载闪存器件的制作方法的技术资料
文档序号:39900372
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本申请公开了一种闪存器件的制作方法,包括:提供一衬底,该衬底上形成有第一氧化物层,第一氧化物层上形成有第一多晶硅层,第一多晶硅层上形成有隔离层,隔离层上形成有第二多晶硅层,第二多晶硅层上形成有第二氧化物层,第二氧化物层
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该专利属于华虹半导体(无锡)有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过华虹半导体(无锡)有限公司授权不得商用。
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