温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。

本实用新型公开了一种磁悬浮装置及半导体加工设备，包括定子和转子，定子包括永磁装置和悬浮控制组件，悬浮控制组件配置为向转子施加主动控制的悬浮力，永磁装置配置为向转子施加永磁偏置磁场，永磁装置包括多个永磁组件，多个永磁组件在圆周方向上均匀设置，...
该专利属于苏州苏磁智能科技有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过苏州苏磁智能科技有限公司授权不得商用。

详细技术文档下载地址

温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。