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本发明涉及一种流限制元件，该流限制元件包括：具有大横截面入口和小横截面出口的入口部分；具有小横截面入口和大横截面出口的出口部分，以及具有入口和出口的螺旋形管，其中所述入口连接到所述入口部分的小横截面出口，并且所述出口连接到所述出口部分的小横...
该专利属于ASML所有，仅供学习研究参考，未经过ASML授权不得商用。

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