温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。

本实用新型公开了一种半导体工艺设备的尾气处理系统，包括第一工艺机，还包括第一等离子清洗室和第一燃烧清洗室，通过在第一干管上设置第一气体检测装置，能够区分第一尾气和第二尾气，第一尾气包含有毒气体和
...
该专利属于通威太阳能（眉山）有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过通威太阳能（眉山）有限公司授权不得商用。

详细技术文档下载地址

温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。