下载硅片清洗篮的技术资料

文档序号:39876351

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本实用新型公开了一种硅片清洗篮,其包括两块相对设置的端板,两块端板的边部通过固定杆连接固定;在两块端板的中部下方之间固定有支撑杆,在两块端板的上部两侧开设有呈倒八字型布置的滑槽,在两块端板对应的滑槽之间设置有限位杆,限位杆的两端延伸至端板的...
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